突破极限 苏州纳米所与国家纳米中心联合引领超高精度激光光刻新纪元

在科技日新月异的今天，光电子器件作为信息时代的关键组成部分，其性能的提升往往依赖于微观加工技术的突破。苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称“苏州纳米所”）与国家纳米科学中心（以下简称“国家纳米中心”）再度向技术“无人区”进发，曝出已在超高精度激光光刻技术的研发中迎来重要进展，为未来光电子器件的迭代打开一扇全新之门。这意味着先前仅是理论可行的更小尺度元器件已经来到实用化门槛。\n\n\n这款名为“光子雪崩Lens”的光刻技术路径，克服了过去传统激光条纹加工的广延性限制，开始精准切割纳米级位置点。合作團隊利用包括碱金属钠仿光学闪异行为的有效非线性淬火技术改写晶胞空间的选择规则，真正呈现出只有0位数值至一到两个晶带的孔径尺寸效应--光锁实显能将尺寸纯度打进道排理论数锁距空间测界的